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• 精密制造新高度：揭秘MEMS工艺中021精密级的刻蚀与键合核心技术
  📅 2026-04-05
  本文深入探讨微机电系统（MEMS）制造中的两大核心工艺——精密刻蚀与键合技术。文章聚焦于实现“021精密”（即微米/亚微米级）与“高精度加工”的关键方法，系统分析了干法/湿法刻蚀的技术选择、硅-硅直接键合及阳极键合等工艺原理，并阐述了这些技术如何共同支撑起从传感器到执行器的各类高性能MEMS器件制造